SCREENホールディングス・第66回京都府発明等功労者表彰「最優秀賞」を受賞

株式会社SCREENホールディングスはこのほど、京都府が主催する「第66回京都府発明等功労者表彰」において、「基板処理装置の発明（特許第5100179号）」が、26件の「発明考案功労者」の中から「最優秀賞」を受賞したことを発表した。

「京都府発明等功労者表彰」は、発明考案・創意工夫の重要性を広くアピールし、科学技術の発展および発明考案・創意工夫に対する意欲の向上を図ることを目的に、1957年から毎年開催されている。
今回受賞した発明は、２本以上の搬送アームを備える搬送ロボットに対して、基板の受け渡し部に３つ以上の基板送り用ステージおよび戻り用ステージを設けることで基板搬送に要する時間を短くできる半導体製造装置を考案。
この発明により、洗浄装置の処理効率向上が可能となるため、世界的な半導体不足の緩和にも寄与する発明として、表彰委員会でも高く評価された。
なお、この技術が搭載された枚葉式洗浄装置「SS-3200」は、操作性やメンテナンス性に優れているほか、安定したプロセス処理性能を持つなど、全世界へ500台以上の出荷実績があり、業界のデファクトスタンダードとなるなど高い評価を得ている。